Flipmodul

Flipmodul FM04

 

Das Flipmodul FM04 ist ein leichtes, elektrisch angetriebenes Schwenkmodul für Wafer-Greifer mit 180° Schwenkbewegung. Ein präzise einstellbarer Endanschlag sowie Soft- und Hardaufschlag in den Endpositionen sorgen für exaktes und schonendes Positionieren.

 

Das Modul wurde speziell für den Einsatz in der Halbleiter-Wafer-Produktion entwickelt und ist mit einem integrierten Microcontroller für verschiedene Schnittstellenapplikationen ausgestattet.

Über den mitgelieferten Montageadapter (WG-A) können unterschiedliche Wafer-Greifer und Endeffektoren problemlos angebracht werden. Standardisierte Schnittstellen ermöglichen den Signalaustausch mit Robotern, während Montagebohrungen die einfache Integration an SCARA-Robotern gewährleisten – ideal für das Handling von Wafern mit 150–300 mm Durchmesser. Optional lässt sich auf der Rückseite ein Triangulations-Laserscanner zur Wafer-Stapelerkennung integrieren. Anschluss und Signalweiterleitung sind bereits vorbereitet.

Versionen

#961 310.00 Fast-Gear

Drehmoment: 150 mN

Flipzeit: 1,8 Sekunden

Motor: 151 383.xx

 

#961 310.04 Slow-Gear

Drehmoment: 300 mN

Flipzeit: 3,6 Sekunden

Motor: 151 384.xx

Technische Daten

Betriebsspannung: 24 VDC ±10 %

Max. Stromaufnahme: 250 mA

Gehäuse: POM-schwarz

Lebensdauer: > 2 Mio. Zyklusbewegungen

 

 

Service und Reparaturen wie auch User-Applikationen werden bei uns im Werk ausgeführt.